薄膜區

金屬鍍膜採用電子束加熱蒸鍍(E-gun Evaporation Deposition)，厚度均勻度控制良好之量產型機台，蒸鍍角控制近垂直之角度，lift-off製程之金屬成型角度(metal profile)達到80度以上，並搭配快速升降溫之褪火製程，可減少對磊晶層之熱效應。